半导体设备与材料核心概念股梳理（附股）

泡股

一、半导体设备（前道为主）

1）平台型 / 综合设备

北方华创 002371：刻蚀、PVD、CVD、清洗、热处理等全品类；国产设备总龙头。

2）刻蚀设备

中微公司 688012：介质刻蚀、硅刻蚀，5nm 先进制程进入台积电。

北方华创 002371：刻蚀机国内市占率高。

3）薄膜沉积（CVD/PECVD/ALD）

拓荆科技 688072：PECVD/ALD 龙头，存储扩产核心受益。

北方华创 002371：PVD 龙头。

微导纳米 688147：ALD 设备专精。

4）清洗设备

盛美上海 688082：单片清洗、兆声波清洗；先进制程验证通过。

至纯科技 603690：清洗设备 + 高纯工艺系统。

5）CMP 设备

华海清科 688120：国内唯一量产 CMP 设备，打破海外垄断。

6）涂胶显影（光刻配套）

芯源微 688037：涂胶显影 + 先进封装设备。

7）量检测 / 测试设备

中科飞测 688361：量检测龙头，中芯国际核心供应商。

长川科技 300604：测试机、分选机，封测 + 晶圆测试。

华峰测控 688200：模拟 / 混合信号测试机龙头。

精测电子 300567：面板 + 半导体检测设备。

8）光刻机零部件 / 配套

茂莱光学 688502：DUV 物镜、光学元件，上海微电子配套。

福晶科技 002222：激光晶体、光学元件。

9）设备零部件 / 精密制造

富创精密 688409：设备结构件、精密零部件。

新莱应材 300260：高纯阀门、管道、流体系统。

二、半导体材料（按晶圆制造核心材料）

1）硅片（最大赛道）

沪硅产业 688126：12 英寸大硅片龙头，规模化量产。

立昂微 605358：重掺硅片龙头。

TCL 中环 002129：区熔硅片、功率半导体硅片。

有研硅 688432：硅片 + 刻蚀硅部件。

2）光刻胶及配套

南大光电 300346：ArF 光刻胶量产并通过晶圆厂验证。

上海新阳 300236：KrF 光刻胶 + 电镀液。

容大感光 300576：光刻胶 + 油墨，国产替代。

鼎龙股份 300054：光刻胶（ArF/KrF）+CMP 材料平台。

3）电子特气

华特气体 688268：特种气体（刻蚀 / 沉积 / 封装用气）。

中船特气 688146：电子特气龙头，大基金重仓。

金宏气体 688106：大宗 + 特种气体。

4）CMP 材料（抛光液 / 抛光垫）

安集科技 688019：CMP 抛光液龙头，全球市占约 10%。

鼎龙股份 300054：CMP 抛光垫国内市占超 70%。

5）湿电子化学品（清洗 / 蚀刻液）

江化微 603078：超纯试剂、显影液、剥离液。

晶瑞电材 300655：高纯双氧水、氨水、光刻胶配套。

6）靶材（高纯金属溅射靶材）

江丰电子 300666：高纯铝 / 铜 / 钛靶材，中芯 / 台积电供应商。

有研新材 600206：稀土靶材、半导体靶材。

阿石创 300706：溅射靶材、蒸镀材料。

7）前驱体 / 高端化学品

雅克科技 002409：半导体前驱体（3D NAND/DDRAM）+ 电子特气。

8）封装材料

华天科技 / 长电科技 / 通富微电：封测为主，材料占比不高。

康强电子 002119：引线框架、键合丝。

三、精简版（一眼抓主线）设备龙头

北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、华海清科、芯源微、中科飞测、长川科技

材料龙头硅片：沪硅产业、立昂微

光刻胶：南大光电、上海新阳、鼎龙股份

特气：华特气体、中船特气

CMP：安集科技、鼎龙股份

靶材：江丰电子、有研新材